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日本ULVAC愛發(fā)科螺桿型干式真空泵

簡要描述：
日本ULVAC愛發(fā)科螺桿型干式真空泵
“Model:MS“是螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)的“Model:LS“的基礎(chǔ)上，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計。

更新時間：2025-06-05

訪問量：23

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

型號：MS120A

品牌ULVAC/日本愛發(fā)科輸送介質(zhì)其他
泵軸位置其他葉輪數(shù)目其他
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科螺桿型干式真空泵

日本ULVAC愛發(fā)科螺桿型干式真空泵


特征

通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，實現(xiàn)耐腐蝕性

采用 ULVAC du 特設(shè)計的轉(zhuǎn)子軸，實現(xiàn)高性能的粉末排出

實現(xiàn)接近大氣壓的連續(xù)抽氣

應(yīng)用

  • 用于半導(dǎo)體和電子設(shè)備制造設(shè)備的
    真空系統(tǒng)蝕刻、灰化、等離子清洗等。

  • 用于爐
    燒結(jié)、滲碳等的真空系統(tǒng)

  • 鋰離子電池制造設(shè)備的
    真空系統(tǒng) 電極干燥、脫氣、真空注射等

  • 醫(yī)療和食品
    真空系統(tǒng) 冷凍干燥、真空干燥等


*MS1200A 可單獨提供，另設(shè)控制板和傳感器。請聯(lián)系我們了解詳情。

規(guī)格

型MS120A 系列MS600A 系列MS1200A
最大抽速 *1m3/小時115560980
極限壓力帕≦0.6≦0.1
電源200V 等級：3相， 50/60Hz， AC200-240V±10% 或 400V 等級：3相， 50/60Hz， AC380-480V±10%
功耗 *2千瓦2.43.13.1
冷卻水流量升/分鐘>4.0
吹掃氣體流量 *1SLM 系列0~50
最大水蒸氣容忍度 *1*3公斤/小時1.5
噪聲 *2分貝（A）616264
入口KF50（臥式） / VG50（立式）ISO-F-80 認證ISO-F-100 認證
出口肯氟烴40
重量 *4公斤139241264
適用標(biāo)準(zhǔn)CE、cTUVus
標(biāo)準(zhǔn)附件快速手冊， 電源連接器， 防水電纜夾， 遙控連接器， 電源連接器防護罩， 消音器
泵頭選項電源：200V 級或 400V 級
密封材料：FKM 或 FFKM
外部選項Packege 排氣口、抗震支架、LR 兼容單元（入口、遠程）、吹掃氣體閥



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